
電子探針顯微分析儀(Electron Probe Micro-Analyzer, EPMA)是一種結合顯微形貌觀察與微區成分分析的高精度、非破壞性儀器,核心是用聚焦電子束激發樣品產生特征 X 射線,通過波譜儀(WDS)或能譜儀(EDS)實現微區元素定性 / 定量及分布分析...
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利用場發射電子槍產生高亮度、細聚焦電子束,對樣品進行超高分辨率形貌觀察與微區成分分析...
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利用X 射線在晶體中的衍射現象,對物質進行物相定性、定量分析、晶體結構測定...
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